檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "鄧昭瑞".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="散斑干涉儀"
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近年來各類型的雷射干涉儀已被廣泛地應用在眾多的科學研究及工程領域中,藉由提供精準的位移或旋轉角度的量測資訊使定位系統或載具能維持高精度的定位性能,以期能準確完成製造程序、元件對位、幾何誤差量測與系統…